일반기술
수직형 노광장치의 간격 조정 장치
본 기술은 자외선을 이용하여 기판 위에 패턴을 형성하는 수직형 노광 장치에 관한 것으로서, 특히 마스크와 기판의 상호 위치를 신속하면서도 보다 부드럽게 정렬할 수 있도록 한 수직형 노광장치의 간격 조정 장치에 관한 것이다.- 특징마스크와 기판 홀더가 수직으로 세워진 상태에서 노광에 의한 패턴 형성 작업을 실시할 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 처짐 현상을 방지할 수 있다.마스크와 기판이 상호 접촉될 때 탄성력에 의해 부드럽게 접촉될 수 있도록 구성되어 있기 때문에 마스크의 손상을 방지할 수 있는 동시에 패턴 형성 공정이 보다 신속하고 신뢰성 있게 진행할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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