일반기술

유전체 공진기 및 그 제조방법

본 기술은 유전체 공진기 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 초소형, 저가형 그리고 고성능 무선 및 이동 통신단말기의 전압제어 발진기(voltage controlled oscillator,: VCO), 패키징된 필터(packaged filter) 및 마이크로 웨이브(micro wave)와 밀리미터 웨이브(millimeter wave)용 수동소자들을 구현하기 위해 필요로 하는 유전체 공진기의 제조를 용이화 및 간소화하기에 적당하도록 한 유전체 공진기 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징종래의 유전체가 채워진 캐비티의 형성으로 인한 공정의 난이함과 복잡함을 개선하기 위하여 캐비티를 형성하지 않고, 고주파를 전달하는 매체로 반도체 회로를 구현하는 고저항 실리콘 기판이나 저 유전체 손실특성을 갖는 감광성 유리 및 기타 유전체 기판을 적용함으로써, 유전체 공진기의 제작을 단순화함과 아울러 주변회로와 쉽게 집적화할 수 있게 되어 공정 신뢰성 및 수율을 향상시킬 수 있다.