일반기술

태양전지 반사방지막 형성방법

기술의 개요 - 본 기술은 태양전지의 반사방지막 형성시, 사용물질을 줄이고 열처리와 동시 스프레이 조건을 달리하면서 스프레이 코팅함으로써, 제조공정의 간소화를 비롯한 효율을 향상시킨 반사방지막에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 단결정 실리콘 웨이퍼를 이용한 태양전지의 반사방지막을 형성함에 있어서, 반사방지막 재료로서 titanium isopropoxide와 n-butyl acetate을 혼합한 용액을 이용하여 예열된 웨이퍼에 스프레이(spray) 코팅시, 용액의 분사압력이 40[psi], 이 용액을 건(gun)까지 운반해 주는 원료압력(material pressure)이 10[inches water], 웨이퍼가 건(gun)의 한 스트로크(stroke)때마다 전진하는 거리를 나타내는 테이블인덱스(table index)가 1.0[inches/stroke], 스프레이건이 웨이퍼를 횡단하는 속도를 나타내는 트래버스 스피드(traverse speed)를 1-15[inches/sec]로 하여 스프레이 코팅함을 특징으로 하는 반사방지막을 형성하는 것을 특징으로 한다.