일반기술

액정표시소자의 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 특정층의 패터닝시에 이용되는 불투명층을 기판 전면에 형성하고, 게이트 절연막 형성후에 활성층을 패터닝하는 방법으로 활성층의 표면 손상을 줄여 소자의 특성을 향상시키는 데에 그 목적이 있다.기술의 특징 - 본 기술은 절연성 기판상에 활성층, 게이트 절연막, 불투명층, 포토 레지스트층을 순차적으로 형성한다. 이어서 산소 이온 주입공정에서 마스크로 사용된 포토레지스트층을 제거하고, 채널영역상에 게이트 전극을 형성한 다음 게이트 전극을 마스크로 하여 불순물 이온주입 공정을 실시하여 소오스/드레인 영역을 정의한다. 또한 소오스/드레인 영역의 불순물을 열처리한 뒤 전면에 제1 절연막을 형성하고, 소오스 영역 상측의 제1 절연막과 게이트 절연막을 제거하여 콘택홀을 형성하며, 콘택홀에 금속전극을 형성하고, 전면에 제2 절연막을 증착한다. 그리고 드레인 영역상의 제2 절연막, 제1 절연막, 게이트 절연막을 차례대로 식각하여 화소 전극용 콘택홀을 형성하며, 화소전극용 콘택홀과 화소영역상에 화소전극 형성을 위한 물질을 도포하여 화소 전극을 형성하는 것이 특징이다.