일반기술
기상 증착 장치
- 개요 본 기술은 기상 증착 장치에 관한 것임.- 특징 기상 증착 장치는 내부에 수용된 증착 재료로 열을 전달하는 증착원 및 증착원 외부에 위치하는 침니를 더 포함한다. 본 기술의 가장 큰 특징인 침니는, 증착원이 수용되는 증착원 수용부를 형성하는 측벽 부재, 증착 부재에 연결되어 내부에 수용된 증착원 상부를 덮는 상부 부재를 포함하여 이루어지되, 상부 부재에는 증착원에서 발생된 재료 증기의 분출 통로인 오리피스가 길이 방향으로 형성되어 있으며, 측벽 부재 및 상부 부재는 수용된 증착원과 소정 간격 이격되어 증착원으로부터 발생된 재료 증기가 혼합될 수 있는 공간부를 형성함.- 효과 증착원에서 발생된 다른 재료의 증기를 균일하게 혼합시켜 기판 표면에 유동시킴으로서 기판의 표면에 균일한 재료 증착층을 형성할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-05
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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