일반기술
고온 초전도체 조셉슨 접합소자의 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 고온 초전도체 조셉슨 접합소자의 제조방법에 관한 것으로, 접합 제작의 편이성과 생산성을 향상시키고, 접합 특성 조절 및 재현성을 향상시키기 위한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 기판 위에 초전도체막을 에피택셜 증착하는 단계와, 초전도체막상에 산소확산방지막을 형성하는 단계, 초전도체막 및 산소확산방지막을 동시에 패터닝하여 원하는 조셉슨소자의 형태로 만드는 단계, 패턴의 접합부분의 일부에만 산소확산방지막을 남기고 나머지 부분의 산소확산방지막을 제거하는 단계, 초전도체막상의 소정부분에 전극을 형성하는 단계와, 초전도체막을 열처리하여 산소를 확산시키는 단계로 구성되어 있는 것이 특징이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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