일반기술
검사광학계 및 그 제어방법
- 개요 본 기술은 검사광학계 및 그 제어방법에 관한 것임.- 특징 검사대상으로 빛을 조사하는 광원과, 빛이 조사된 검사대상의 반사광을 집광하는 집광수단과, 집광수단을 통해 집광된 빛을 감지하는 센서와, 센서에서 결상된 이미지의 초점 맞는지 틀린지 여부에 따라 센서를 이동시키는 센서 구동부로 구성되어, 센서의 위치 제어를 통하여 다양한 파장의 광에 의한 렌즈의 초점거리 변화에 관계없이 항상 깨끗한 이미지를 얻을 수 있도록 함.- 효과 다층 박막 검사의 신뢰도를 향상시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.