일반기술
전계 방출형 표시 소자의 스페이서 전극 형성 방법
본 기술은 전계 방출 소자에서 스페이서의 전극 형성 분야에 관한 것으로서, 특히 스페이서의 전극을 형성함에 있어서 스퍼터링을 할 때 지그(jig)에 스페이서를 끼우고 먼저 스페이서 전극 재료로 금속막을 입힌 후 스페이서 전극 재료와 식각률이 상이한 다른 종류의 박막을 입혀 애칭을 하여 스페이서의 양면에 동시에 스페이서의 전극패턴을 형성할 수 있는 전계 방출형 표시 소자의 스페이서 전극 형성 방법에 관한 것이다.- 특징스핀 코터, 포터레지스트, 마스크, 얼라인이 필요없는 간편한 방법이면서, 반복되는 공정없이 1회의 공정으로 스페이서의 양면에 동시에 스페이서 전극 패턴을 형성할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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