일반기술
광모듈레이터 및 그 제조방법
- 개요 본 기술은 광모듈레이터 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 본 기술은 기판과, 기판상에 위치하는 절연막과, 절연막의 중앙상부에 위치하는 하부전극과, 그 중앙부가 하부전극의 상부측에서 소정거리 이격되도록 위치함과 아울러 양측단이 상부전극의 주변부에 위치하는 절연막 상에 고정되는 복수의 브릿지형 리본과, 리본의 절연막에 고정된 양측단부와 중앙부 사이의 영역인 포스트 부분에 위치하는 브릿지 보강막으로 되어, 전압의 인가에 의해 기계적인 구동을 통해 광을 변조시키는 리본의 포스트 부분에 절연성 유기물 패턴을 부가하여, 그 리본의 기계적인 구동에 의해 포스트에 집중되는 응력을 분산시킴.- 효과 기계적인 구동의 안정성을 확보하여 그 동작의 신뢰성을 향상시킴.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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