일반기술

박막형 습도센서 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 박막형 습도센서 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 저항 패턴의 일측 또는 커패시터 전극의 일측전극은 마이크로 히터로 형성하며, 감습막은 무기재료 감습막이고, 기판에 형성된 천공에 위치하여 공기중에 완전히 노출되는 구조로 구성하고, 기판에 적어도 하나가 마이크로 히터의 역할을 수행하는 복수의 저항체 패턴을 형성하거나, 커패시터 하부전극 패턴을 형성하는 단계와, 복수의 저항체 패턴 또는 커패시터 하부전극 패턴의 상부에 무기재료 감습막을 형성하는 단계와, 커패시터 하부전극 패턴에 대향하는 무기재료 감습막의 상부에 마이크로 히터의 역할을 수행하는 커패시터 상부전극을 형성하는 단계와, 저항체 패턴 또는 커패시터 하부전극 패턴이 형성된 기판의 일부를 저면으로 부터 식각하여 각 패턴의 저면측을 노출시키는 천공을 형성하는 단계를 통해 제조함.- 효과 폴리머 감습막에 비하여 보다 고온에서 안정적으로 사용할 수 있게 되어, 그 사용 온도범위를 증가시켜, 보다 다양한 분야에 적용할 수 있음.