일반기술

고휘도 청색 발광소자 및 그 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 고휘도 청색 발광소자에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술의 발광소자는 사파이어 기판과, 사파이어 기판위의 버퍼층 및 엔플러스형 에피층, 엔플러스형 에피층위의 마스크로 이용되는 산화막, 산화막 창내의 엔형 크래드 층, 그 위의 활성층과, 그 위의 피형 크래드 층, 피형 크래드 층 및 산화막에 걸치는 피형 오옴 접촉 금속, 엔형 크래드 층 및 산화막에 걸치는 엔형 오옴 접촉 금속, 사파이어 기판 뒷면의 반사기 금속으로 구성되어 있다. - 본 기술의 발광소자 제조방법은 사파이어 기판위에 버퍼층 및 엔플러스형 에피층을 성장시키는 공정과, 이후 산화막을 증착하는 공정, 이후 포토리소그래피 공정으로 창(Window)을 형성하는 공정, 이후 창내에 엔형 크래드 층, 활성층 및 피형 크래드 층을 순차적으로 성장시키는 공정, 이후 피형 크래드 층과 산화막에 걸치는 피형 오옴 접촉 금속 및 엔형 크래드 층과 산화막에 걸치는 엔형 오옴 접촉 금속을 형성하는 공정, 이후 사파이어 기판 뒷면에 반사기 금속을 제조하는 공정으로 되어 있는 것이 특징이다.