일반기술

히터 내장형 감습센서 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 히터 내장형 감습센서에 관한 것임.- 특징 기판 상에 위치하는 면상의 하부전극과, 하부전극을 전극 또는 히터로 사용할 수 있도록 하는 두 패드와, 하부전극 상에 위치하는 다공성 산화물 감습막과, 다공성 산화물 감습막의 상부에 위치하며, 패드에 연결되는 다공성 상부전극으로 구성되는 감습센서를, 기판의 상부에 제1 및 제2 패드를 형성하는 단계와, 제 1 및 제2패드와 연결되는 면상의 하부전극을 형성하는 단계와, 하부전극 상에 금속산화물계 세라믹 재료의 다공성 산화물 감습막을 형성하는 단계와, 다공성 산화물 감습막 및 기판의 상부일부에 제3패드를 형성하는 단계와, 다공성 산화물 감습막의 상부에서 제3패드에 연결되는 도전성 산화물의 다공성 상부전극을 형성하는 단계를 통해 제조함.- 효과 폴리머 감습막에 비하여 보다 고온에서 안정적으로 사용할 수 있게 되어, 그 사용 온도범위를 증가시켜, 보다 다양한 분야에 적용할 수 있음.