일반기술
가스센서 및 그의 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 후막형 일산화탄소 가스센서에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 알루미나 기판상에 일정 패턴으로 형성되는 백금전극과, 전극상에 형성되어 외부의 가스와 반응하는 Zn0-Pd로 이루어진 감지막, 전극을 통하여 감지막에 전압을 인가하는 전압인가 수단, 감지막과 가스와의 반응성 및 전기 전도성을 높여주기 위해 감지막을 고온으로 가열하는 가열 수단부로 구성되어 있는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 포토레지스트 공정을 하지 않고, 스크린 프린팅법으로 전극을 패터닝 하므로 공정을 단순화 하고 ZnO-Pd를 주재료로 하고 일산화탄소의 가스센싱 감도를 향상시키는 효과를 도출한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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