일반기술
탄소나노튜브의 선택적 제거를 통한 반도체 소자 제조방법
본 기술은 탄소나노튜브(CNT,Carbon NanoTube)에 관한 것으로서, 특히 탄소나노튜브를 소스(source)와 드레인(drain) 사이에 수평성장시키고, 반도체적인 전기적 특성을 지니는 부분과 금속적인 전기적 특성을 지니는 부분이 혼재되어 성장된 탄소나노튜브 중에서, 금속성 탄소나노튜브만을 선택적으로 제거함으로써, 반도체 소자를 용이하게 제조할 수 있는 탄소나노튜브의 선택적 제거를 통한 반도체 소자 제조방법에 관한 것이다.- 특징탄소나노튜브를 소스와 드레인 사이에 수평성장시키고, 반도체적인 전기적 특성을 지니는 부분과 금속성 전기 특성을 지니는 부분이 혼합되어 성장된 탄소나노튜브 중에서, 금속성 탄소나노튜브만을 선택적으로 제거함으로써, 반도체 소자를 용이하게 제조할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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