일반기술
전계 방출형 표시 소자의 스페이서 전극 형성 방법
본 기술은 전계 방출 소자에서 스페이서의 전극 형성 분야에 관한 것으로서, 특히 스페이서의 전극을 형성함에 있어서 감광성 유리를 사용하여 스페이서의 전극 형성을 위한 스퍼터링 등 기타 증착방법에 이용할 수 있는 증착용 마스크를 제작하고, 그 마스크를 이용하여 1회의 증착만으로 원하는 스페이서 전극 미세 패턴을 형성할 수 있는 전계 방출형 표시 소자의 스페이서 전극 형성 방법에 관한 것이다.- 특징감광성 유리를 이용하여 제작된 증착용 마스크를 스페이서에 얼라인한 후 1회의 증착만으로 원하는 스페이서 전극 패턴을 형성할 수 있다.공정이 간단하고 다수의 장비가 필요없게 되어 그에 따른 단가를 절감할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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