일반기술
액정표시장치의 제조방법
본 기술은 반도체장치의 제조방법에 관한 것으로서, 특히 액정표시장치의 커패시터 제조시에 반도체층의 데미지를 없애므로써 소자의 특성을 안정시킬수 있는 액정표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.- 특징트랜지스터의 소오스/드레인 영역 및 커패시터의 하부전극 영역을 형성하기 위한 이온주입 공정시에, 종래의 두번에 걸친 이온주입 공정과 달리, 한번의 이온주입 공정에 의해 영역들을 형성할 수 있다.이온주입 공정시에, 종래와 같이 별도의 감광막을 도포하고 이 감광막을 마스크로 하여 이온주입한 다음 다시 감광막을 제거하는 공정이 필요없게 되므로 그만큼 제조공정수가 줄어 들므로 제조공정 시간이 단축된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-11
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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