일반기술
강유전체 광메모리 소자 제조방법
- 개요 본 기술은 강유전체 광메모리 소자 제조방법에 관한 것임.- 특징 기판 위에 제 1 전극, 강유전체층, 투명 물질로 이루어진 제 2 전극을 순차적으로 형성하고, 제 2 전극 및 그 하부에 있는 강유전체층을 소정 형태로 패터닝하여 다수개의 셀들을 형성한 다음, 제 1 전극을 소정 형태로 패터닝하여 각 셀들의 제 1 전극을 연결시킨다. 그리고, 각 셀들을 포함한 전면에 절연층을 형성하고 패터닝하여 각 셀의 제 2 전극이 노출되도록 콘택홀을 형성한 후, 노출된 제 2 전극에 연결되도록 콘택홀에 금속 물질을 형성함.- 효과 높은 밀도의 비휘발성 메모리를 구현할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-12
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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