일반기술
절대습도센서 및 이를 이용한 온/습도 검출 회로
본 기술은 센서에 관한 것으로, 특히 절대습도 센서 및 이를 이용한 온/습도 검출 회로에 관한 것이다.- 특징마이크로머시닝 기술을 이용하여 멤브레인 상에 저항체 박막을 형성함과 동시에 에칭을 통해 형성된 동공을 패키지의 구멍을 통하여 습기가 들어올 수 있는 공간으로 형성할 수 있는 구조를 갖게 함으로써 제조공정이 간단한 소형의 절대습도센서를 제작할 수 있으며 조립공정이 간단하여 저가의 센서를 제작할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-12
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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