일반기술

액정표시장치의 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 액정표시장치에 관한 것으로 특히 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다. 기술의 특징 - 본 기술은 기판을 준비하는 스텝과, 기판상의 일정영역에 섬모양의 반도체층들을 형성하고 반도체층을 포함한 기판 전면에 제1절연층을 형성하는 스텝, 제1절연층상에 게이트전극물질을 형성하고 패터닝하여 반도체층들상에 일부가 중첩되고 일정간격을 갖는 복수개의 게이트라인들을 형성하는 스텝, 게이트라인들을 마스크로 기판 전면에 불순물이온을 주입하여 반도체층들에 소오스 영역들과 드레인 영역들을 형성하는 스텝, 게이트라인들을 포함한 기판 전면에 제2절연층을 형성하고 패터닝하여 게이트라인들의 일부분이 노출되도록 제1콘택홀들을 형성하는 스텝, 제2절연층상에 투명도전층을 형성하고 패터닝하여 제1콘택홀들을 통해 게이트라인들에 연결되도록 스토리지전극을 형성하는 스텝, 스토리지전극을 포함한 기판 전면에 제3절연층을 형성하고 패터닝하여 반도체층들의 드레인영역들이 노출되도록 제2콘텍홀들을 형성하는 스텝, 제3절연층상에 투명도전층을 형성하고 패터닝하여 제2콘택홀들을 통해 드레인영역들에 연결되고 스토리지전극을 포함하도록 화소전극을 형성하는 스텝, 화소전극을 포함한 기판 전면에 제4절연층을 형성하고 패터닝하여 반도체층들의 소오스영역들이 노출되도록 제3콘택홀들을 형성하는 스텝과, 그리고 제4절연층상에 금속층을 형성하고 패터닝하여 제3콘택홀들을 통해 소오스영역들에 연결되고 화소전극에 중첩되지 않으며 게이트라인들에 수직한 방향으로 일정간격을 갖는 복수개의 데이터라인들을 형성하는 스텝으로 구성되는 것이 특징이다.