일반기술

액정표시장치의 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 액정표시장치의 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 화소전극으로 사용되고 있는 ITO와 TFT의 드레인영역과의 컨텍저항 문제를 해결하기 위한 제조방법에 따르면 절연성 투명기판위에 활성층을 형성하는 단계와, 활성층상에 포토 레지스트를 형성하여 패터닝을 한후 불순물을 이온 주입하는 단계, 포토레지스트를 제거하고 게이트절연막을 형성하는 단계, 게이트절연막 위에 다수개의 도전층을 형성하는 단계, 활성층내에 이온주입을 하여 소오스 영역 및 드레인영역을 형성하는 단계, 기판 전면에 제1층간 절연막을 형성하는 단계, 소오스영역과 드레인영역의 상부 및 도전층상에 제1층간 절연막을 일부 제거하고 다수개의 제1컨텍홀을 형성하는 단계, 다수개의 제1컨텍홀상에 메탈을 증착하여 드레인영역과 소오스영역 및 다수개의 도전층을 연결시켜주는 금속배선을 형성하는 단계, 형성된 메탈층위에 제2층간 절연막을 형성하는 단계와, 도전층 위에 제2컨텍홀을 형성하는 단계, 제2층간 절연막 상부에 컨텍홀을 통해 드레인 영역과 연결된 게이트전극과 접속되는 화소전극을 형성하는 단계, 화소전극 상부에 보호막을 형성하는 단계 등으로 구성되어 있는 것이 특징이다.