일반기술

적외선 검출기용 모노리틱 Via 공정설계 기술

<기술의 개요>- 적외선 검출기용 모노리틱 공정을 설계하고 단위픽셀의 열 및 구조적 설계를 통하여 마이크로볼로미터 소자의 최적 공정 설계 기술이며, 모노리틱 via 공정을 신규 설계하여 앵커구조의 안정화를 이루었고, 열해석 및 구조설계를 44㎛ 픽셀구조의 최적 소자를 개발하였다. 볼로미터 저항은 1MΩ 이하, 저항 편차 10% 이하, 모노리틱 Via 크기를 3x2 ㎛2으로 구현하였으며, 캔틸레버 평탄도를 cavity 2㎛의 20% 이내로 개발하였다. 실험계획법을 이용한 공정방법, 열 설계 및 최적 소자 구조 설계 기술이다.<기술의 특징>- MEMS 공정기술을 각종 마이크로 센서의 구조체 제작 기술- 2차원 열영상용 어레이 검출소자 및 웨이퍼수준의 패키징 공정에 응용가능함- 산업용 적외선 카메라, 자동차 나이트비젼 등의 시장이 점차 증가하여 약 100억원의 경제적 효과를 예상함<기술 및 시장동향>- 현재 세계적으로 개발되고 생산되고 있는 비냉각형 적외선 센서는 크게 두 가지로 분류할 수 있다. microbolometer 형과 ferroelectric 형이 그것이다. 이 외에 초전도체나 Thermopile 센서 등이 있지만 시장에서 차지하는 부분이 미약하므로 열상용 2D 어레이 비냉각형 센서의 반열에 올라오지 못하고 있음. 볼로미터 적외선 센서는 또한 2가지 재료를 이용하여 제작하고 있는데 VOx 와 a-Si이 그 대표적인 물질이다.- 미국 Maxtech International 사에서 2007년 발간한 적외선 관련 시장보고서에 따르면 적외선 열상 세계 시장 규모는 2006년 1조8천억원에서 2012년 4조원에 이르고, 연간 14%의 성장률로 매우 급속한 발전을 이룰 것으로 전망한다.