일반기술
반도체 레이저 다이오드 어레이 제조 방법
- 개요 본 기술은 반도체 레이저 다이오드 어레이 제조 방법에 관한 것임.- 특징 소정의 층(LAYER)에 형성된 홈과 이 홈이 형성되지 않은 영역에 포토 레지스트를 도포했을 때 그 도포되는 포토 레지스트의 두께가 달라짐으로써 그 두께에 따라 현상을 달리 수행할 수 있다는 것을 이용해 한번의 포토 작업으로 전류 주입을 위한 채널(CHANNEL) 형성 공정과 발광 영역으로 크랙(CRACK)이 전파되는 것을 방지하기 위한 트렌치(TRENCH) 형성 공정을 수행할 수 있도록 함.- 효과 소자의 생산 시간 및 제조 비용을 줄여 생산 수율을 향상시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-13
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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