일반기술

전계방출소자 및 그 제조방법

- 개요 본 기술은 전계방출소자 및 그 제조방법에 관한 것임.- 특징 하판유리의 상부에 하부전극, 필드절연막 및 터널링절연막을 순차 형성하는 단계와, 구조의 상부에 상부전극패드와 상부전극버스를 형성하는 단계와, 구조의 상부에 오버행 절연막을 형성하는 단계와, 오버행 절연막의 상부일부에 금속 시드층을 형성하는 단계와, 금속 시드층 상에 연성을 가지는 금속을 도금하여 범퍼를 형성하는 단계와, 오버행 절연막, 상부전극버스 및 상부전극패드의 일부를 식각하여 터널링절연막을 노출시킨 후, 그 터널링절연막 상에 상부전극을 형성하는 단계와, 범퍼의 상부에 스페이서를 장착하고, 애노드와 패키징 하는 단계를 통해, 전계방출구조를 가지는 캐소드와, 캐소드의 상부일부에 위치하는 연성을 가지는 금속 범퍼와, 금속 범퍼의 상부에 위치하여, 캐소드와 애노드 사이의 진공영역을 지지하는 스페이서를 가지는 전계방출소자를 제조함.- 효과 스페이서에 의한 전극의 손상을 방지하는 효과와 아울러, 그 금속범퍼를 사용하여 아웃개싱을 방지하여 고진공의 유지가 용이하도록 하여, 전계방출소자의 특성 열화를 방지할 수 있음.