일반기술
고품질 ＧａＮ 층 성장 방법
본 기술은 GaN을 이용한 반도체 광소자의 제작에 관한 것으로, 특히 비정질이나 분말 상태의 GaN을 이용하여 고품질의 GaN 층을 성장시키는 방법에 관한 것이다.- 특징비정질 GaN 층의 표면을 다시 결정화시킴으로 GaN 버퍼층을 사용하여 GaN층을 성장시킬 때 발생되는 결정 결함을 줄일 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-14
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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