일반기술

발광소자 어레이 구조 및 그 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 발광소자 어레이 구조 및 그 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술의 발광소자 어레이 구조는 육각형 피라미드 형태로 발광소자를 형성하고, 이와 같이 형성된 발광소자의 각 육면에서 나오는 광이 서로 중첩되도록 그 발광소자를 배치시킨 육각형의 어레이 구조로 되어 있다. - 그리고 본 기술의 어레이 구조 제조방법은 실리콘 카바이드 기판위에 버퍼층과 엔형 에피층을 성장시키는 공정과, 이후 마스크로 이용될 산화막을 증착하는 공정, 이후 포토리소그래피 공정으로 두 개의 창을 형성하는 공정과, 엔형 크래등층 환성층 및 피형 크래드 층을 순차적으로 성장시키는 공정, 이후 기판의 윗면에 피형 크래드 층을 형성하는 공정과, 이후 기판의 뒷면에 엔형 크래드 층을 형성하는 공정으로 구성되어 있는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 선택적으로 에피성장된 육각형 피라미드 구조의 발광소자를 육각형의 어레이 구조를 이룸으로써 광출력을 증가시켜 낮은 전류에서도 고휘도를 낼 수 있게 되어, 발광소자의 수명시간이 연장되는 효과를 도출한다.