일반기술
건식식각에 의한 그루브 제조방법 및 그를 이용한광통신용소자
본 기술은 광통신에 사용되어지는 건식식각에 의한 그루브(groove) 제조방법 및 그를 이용한 광통신용 소자에 관한 것으로, 특히 LD나 PD등의 광신호 송수신단 연결시 광학벤치의 그루브의 제작 및 광화이버간 연결용 그루브 제조방법에 관한 것이다.- 특징마스크와 기판을 선택적으로 식각하는 플라즈마를 이용하여 마스크와 기판을 동시에 건식식각하거나 교대로 건식식각을 행하고, 이때 식각 시간 및 분압등을 조절하여 콘트롤이 용이하며 정교하고 오차가 적은 패턴을 갖는 그루브를 형성할 수 있다.정교한 패턴의 그루브를 형성함으로써 광화이버의 정렬 오차를 줄여 광손실을 줄인다.
기술정보
- 기술분류
- 통신 > 기타 통신
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-15
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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