일반기술
산화물 박막 제조 장치
- 개요 본 기술은 산화물 박막 제조 장치를 제공하기 위한 것임.- 특징 챔버 외부에 형성되어 챔버내 중앙에 위치하는 회전축을 회전시키는 모터와, 기판을 지지하고, 회전축의 회전운동을 받아 금속 증착구역과 산소분위기 영역을 경유하여 기판에 금속을 증착하는 기판 홀더부와, 기판 홀더부의 상하부에 소정간격을 두고 형성되어 기판에 열을 발열하는 상하부 히터와, 기판 홀더부와 하부 히터의 소정 영역에 접촉되어 기판 홀더부의 회전시 베어링 역할을 하는 제 1 베어링부와, 상하부 히터의 복사에 의한 열이 챔버로 이동하는 것을 막는 방열판과, 상하부 히터와 기판 홀더부를 지지하는 지지 구조물을 포함하여 구성됨.- 효과 적은 수의 부품으로 간단하고 구조적 재현성을 향상시켜 고온에서도 안정적으로 작동할 수 있으며 유지보수가 쉬움.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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