일반기술
탄소 나노 튜브를 이용한 전계 방출 표시 소자의 제조 방법
- 개요 본 기술은 전계 방출 표시 소자(FIELD EMISSION DISPLAY DEVICE)의 제조 방법에 관한 것임.- 특징 전계 방출 표시 소자에서 에미터 팁 물질을 증착하는 과정에서 게이트 홀 부분이 닫히기 직전에 에미터 팁 증착을 끝내고 원추형의 에미터 팁 끝의 뾰족하지 않고 평평한 부분에 촉매 금속을 이어서 증착시키고 촉매 금속 위에 열 화학 기상 증착법 또는 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 탄소 나노 튜브를 성장시킴.- 효과 재현성이 우수하면서 에미터 팁이 파괴되는 것을 방지할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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