일반기술
고주파 스위치 및 그 제조방법
본 기술은 고주파 스위치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 인가 직류 전압에 대하여 조절이 가능한 커패시터의 구조적 안정성을 향상시킴과 아울러 삽입손실을 최소화할 수 있도록 한 고주파 스위치 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징연속 도금방법을 통해 비아금속층 및 상부전극이 일체형 도금금속층으로 형성됨에 따라 상부전극이 끌어당겨지더라도 구조체가 파괴되지 않아 구조적 안정성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.비아금속층과 상부전극의 접착력을 향상시키기 위하여 스퍼터링이나 전자-빔 증발의 박막증착을 통해 스트레스가 유발되는 씨드금속층을 형성할 필요가 없어지므로, 상부전극이 하부전극측으로 당겨질 경우에 유전체층과 접착되는 상부전극의 면적을 최대화할 수 있게 되어 isolation loss를 최대화함과 동시에 동작전압도 낮출 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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