일반기술
박막 벌크 어쿠스틱 공진기를 이용한 대역통과필터 제조방법
본 기술은 박막 벌크 어쿠스틱 공진기를 이용한 대역통과 필터 제조방법에 관한 것으로, 공진주파수가 다른 두 공진기를 하나의 칩에 실장하여 대역통과 필터를 구현하는 박막 벌크 어쿠스틱 공진기를 이용한 대역통과 필터 제조방법에 관한 것이다.- 특징서로다른 공진 주파수를 가지는 TFBAR을 지지층의 두께 차에 의한 공진영역의 질량차를 도모하여, 동일한 기판상에서 제조함이 가능해져, 소자가 차지하는 면적을 최소화하고, 공정단계를 감소시켜 제조비용을 절감하고 수율을 향상시키는 효과와 아울러 대역통과필터의 특성을 튜닝하기가 용이하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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