일반기술
공진기의 제조방법
본 기술은 공진기의 제조방법에 관한 것으로, 특히 에어 캐비티(air cavity) 공진기의 캐비티 표면 거칠기를 최소화함과 아울러 제조를 단순화하기에 적당하도록 한 공진기의 제조방법에 관한 것이다.- 특징단일 기판 상에 에어 캐비티 공진기를 형성함에 따라 다른 소자와의 집적이 가능하고, 안테나와 캐비티를 정확히 정렬시킬 수 있으며, 캐비티의 외벽을 이루는 금속층이 우수한 표면 거칠기를 갖게 되어 고주파의 표면산란을 최소화함에 따라 고주파의 손실을 줄이고, 잡음지수를 낮출 수 있게 되어 공진기의 특성을 최적화할 수 있다.종래 2개의 기판을 접합하는 방법에 비해 공정이 단순화되고, 아울러 접합공정을 생략할 수 있게 되어 수율 향상 및 제조비용 절감에 기여할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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