일반기술

평면 표시 장치의 전계 검사 장치 및 그 방법

- 개요 본 기술은 평면 표시 장치의 전계 검사 장치 및 그 방법에 관한 것임.- 특징 기판에 기 설정된 패턴대로 기판에 형성된 다수개의 셀(CELL)에 동기신호를 인가하는 패턴 발생부와, 패턴 발생부에서 인가된 전기신호에 의해 충전되고 기판에 라인을 이루며 일측 방향으로 배열된 다수개의 셀로부터 발생되는 전계 패턴을 감지하는 센서부와, 센서부의 동작 제어를 수행하고, 센서부에서 감지된 셀의 전계 패턴을 수치화 하여 기판 전체에 형성된 전계 패턴에 대응하는 수치 신호를 생성 출력하는 센서 제어부와, 기판이 일측 방향으로 이송되도록 이송하는 이송부와, 센서 제어부에서 출력된 수치 신호의 패턴과 패턴 발생부에서 인가한 전기 신호에 해당하는 패턴을 비교하여 기판의 결함 여부를 판단하는 연산부를 포함하여 구성됨.- 효과 센서부가 전계를 감지하기 위하여 이동하는 것이 아닌 기판이 이송부에 의해 이동되기 때문에 센서부가 이동하면서 전계를 감지하는 것에 비하여 센서부의 가감속 시간이 요구되지 않아 전계를 감지하는데 소모되는 시간을 절감시킬 수 있음.