일반기술

가변 광 감쇠기 및 그의 어레이

- 개요 본 기술은 가변 광 감쇠기 및 그의 어레이에 관한 것임.- 특징 기판 상부 내측에 장방형 형상으로 형성된 제 1 홈의 바닥면으로부터 부상되며, 기판 상측에서 연장된 탄성구조물과, 제 1 홈에 일측이 연통되어 수직하게 형성된 제 2 홈의 바닥면으로부터 부상되며, 탄성구조물에서 연장된 가동부와, 제 2 홈의 타측과 연통되며 제 1 홈과 평행하게 기판의 일측 상단에서 타측 상단까지 형성된 제 3 홈의 중심영역을 가로막으며 가동부에서 연장된 마이크로 미러와, 마이크로 미러의 일측에 종단이 대향되어 광학적으로 정렬되도록 제 3 홈에 삽입되는 제 1 광섬유와, 마이크로 미러의 타측에 종단이 대향되어 광학적으로 정렬되도록 제 3 홈에 삽입되는 제 2 광섬유와, 가동부 상부에 형성된 코일과, 기판의 인접영역에 위치되며, 코일에 자기장을 공급하는 자석으로 구성됨.- 효과 공정시간의 단축으로 인한 수율증가는 물론이고, 동박패턴의 두께를 낮출 수 있어 미세회로패턴의 형성에 유리하고, 베리어층이 막간 발생되는 내부응력을 저감시켜 휘스커의 생성을 억제하므로 휘스커의 성장으로 인한 단락이 방지됨.