일반기술
탄소나노튜브를 이용한 MEMS 공진기 및 그 제조방법, 공진기를 이용한 주파수 발생기
본 기술은 탄소나노튜브를 이용한 MEMS 공진기 및 그 제조방법, 공진기를 이용한 주파수 발생기에 관한 것이다.- 특징탄소나노튜브(또는 탄소나노튜브 화이버)는 가볍고 탄성이 우수하여 고주파수에서 진동이 가능하며, 탄소나노튜브의 사이즈가 작거나 반경 대 길이비가 커도 기계적 강성이 우수하여 형태를 유지하므로 원하는 고주파수에서 진동이 가능하여 다양한 전자소자에 응용이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.