일반기술
대역 통과 필터 및 그 제조방법
본 기술은 MEMS(Micro-Electro Mechanical System) 기술을 이용한 대역 통과 필터 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징커패시터를 구성하는 전송선이 기판에 대하여 상/하로 구성되어 소자의 면적을 줄임으로써, 소자의 크기가 커서 사용이 곤란한 체비세브 타입 필터의 가장 큰 단점을 극복할 수 있으며, 기존의 제조공정은 정전용량성 커패시터를 구성하는 금속면이 전해 도금을 통하여 형성되므로 거칠기가 거칠어 표면 산란(surface scattering)이 크지만, 본 발명의 제조공정은 표면 거칠기가 우수한 희생층의 위/아래에 형성되는 금속으로 형성되므로 표면 산란에 의한 손실을 줄여서 특성이 우수한 소자를 제작할 수 있고, 전송선과 전송선이 기판과는 관계없이 공기만을 사이에 두고 커패시터를 구성하므로 기판에 의한 유전체 손실을 줄일 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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