일반기술
원자력 현미경용 캔틸레버 및 그 제조방법
본 기술은 원자력 현미경용 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 압전박막을 이용한 센서와 엑튜에이터를 캔틸레버에 부가하여 시스템을 간소화하며, 원자력 현미경의 측정 속도를 향상시키는데 적당하도록 한 원자력 현미경용 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것이다.- 특징캔틸레버에 압전 액튜에이터를 부가하여 원자력 현미경의 동작속도를 향상시키고, 그 캔틸레버에 압전센서를 부가하여 광학시스템을 이용하지 않고 원하는 측정을 수행할 수 있으므로 시스템이 단순해 지는 효과와 아울러 압저항형 센서를 사용할때의 문제점인 실리콘 온 인슐레이터 기판을 사용하지 않고, 일반 실리콘 기판을 사용하여 제작이 가능하여 비용이 절감된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-18
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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