일반기술

PDP(PLASMA DISPLAY PANEL)용 박리장치 및 그 방법

기술의 개요 - 본 기술은 본 발명은 PDP(Plasma Display Panel)의 표시전극과 격벽 형성시 전면기판 상의 잔존 포토레지스트(photoresist)와 배면기판 상의 잔존 드라이 필름(dry film)을 모두 제거할 수 있는 PDP용 박리장치 및 그 방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 PDP의 표시전극과 격벽 제조시 전면기판상의 잔존 포토레지스트 제거를 위한 박리조와, 배면기판 상의 잔존 드라이 필름 제거를 위한 박리조 및 중화조, 나머지 공용 공정(순수 샤워, 순수 린스, 건조)을 위한 장비, 박리조 내부에 장착된 순수 분사 노즐과, 박리조와 중화조의 기판 입·출구 및 순수 샤워부의 기판 입구에 각각 장착된 에어 커튼을 구비하여 잔존 포토레지스트 박리공정과 잔존 드라이 필름 박리공정을 함께 수행하는 것을 특징으로 한다.기술의 효과 - 본 기술은 전체 PDP 제조라인을 크게 줄일 수 있어 비용 절감 및 설치 공간 감소를 가능하게 하는 효과를 도출한다.