일반기술

홀로그램 픽업모듈에서의 수광소자 접합 장치 및 그 방법

기술의 개요 - 본 기술은 흡착기구의 형태를 개선하여 PDIC의 위치를 흡착시 정확하게 수행하도록 하고, 카메라를 이용하여 2회의 위치인식을 수행함으로써 기계의 열팽창에 의한 오차를 보상하여 접합시 정확한 위치제어를 할 수 있는 홀로그램 픽업모듈에서의 수광소자 접합 장치 및 그 방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 스템(stem) 및 수광소자(PDIC)의 위치를 인식하기 위하여 스템과 PDIC를 영상신호로 입력받는 카메라와, 카메라를 통해 입력되는 영상신호를 분석하여 위치를 판단하고 그에 따라 PDIC의 이동량을 계산하는 마이컴, 수광소자를 고정하기 위한 흡착헤드, 흡착헤드를 수평방향 즉 Y방향으로 이동시키는 Y축 이송 테이블, 흡착헤드를 수직방향 즉 Z방향으로 이동시키는 Z축 이송 테이블, 흡착헤드가 Y축과 이루는 각도를 조정하기 위한 θ축 이송 테이블, 스템의 소정 위치로 이동된 PDIC의 접합을 수행하는 접합유니트와, 작업자가 작업의 진행상태를 확인할 수 있도록 카메라를 통해 입력되는 영상신호를 출력하는 모니터 등으로 구성되어 있는 것이 특징이다.