일반기술
플라스마 디스플레이 패널용 식각 시스템
기술의 개요 - 본 기술은 플라스마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP)의 표면 유리기판과 배면 유리기판에 각각 표시 전극과 격벽을 형성시키는 공정 중 식각 공정에 사용되는 PDP용 식각 시스템에 관한 것이다.기술의 효과 - 본 기술은 유리기판에 순차적으로 적층된 금속막을 식각하기 위해 식각액과 순수의 공급을 선택적으로 결정할 수 있는 밸브수단을 식각조에 설치함으로써, 유리기판상에 적층된 3층 구조의 금속막을 하나의 식각조 내에서 일괄 식각할 수 있게 되어 시스템의 크기가 축소되는 효과를 도출한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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