일반기술
레이저 광을 이용한 박막 형성장치
기술의 개요 - 본 기술은 레이저 광을 이용한 박막 형성장치에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 적어도 두 개의 회전하는 거울을 사용하여 곡면으로 이루어진 타겟면에 레이저 광을 주사함으로써, 넓은 면적의 기판 위에 균일도가 뛰어난 고온초전도 박막을 제조할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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