일반기술

써모파일 센서 및 그 제조방법

기술의 개요 - 본 기술은 써모파일 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다.기술의 특징 - 본 기술의 써모파일 센서는 기판 위에 다이아프레임 막을 형성하고, 다이아프레임 막 위의 소정영역에 열전쌍을 형성한 후, 열전쌍 위에 보호막을 형성하고 있다. - 그리고 본 기술의 써모파일 센서 제조방법은 보호막 위에 포토레지스트 형성하고 소정영역의 포토레지스트를 제거한 다음, 포토레지스트를 포함한 전면에 스퍼터링 방법으로 흑체를 형성하고 남아 있는 포토레지스트 및 그 포토레지스트 위에 형성된 흑체를 제거한 후에 기판 밑면의 소정영역을 제거하여 다이아프레임 막을 노출시키는 것이 특징이다.기술의 효과 - 본 기술은 기존의 반도체 공정(CMOS 공정)과 호환이 가능하여 양산성을 향상시키고, 흑체 형성시 발생하던 다이아 프레임 막의 손상을 방지할 수 있으며, 흑체막 특성을 일정하게 제어할 수 있다. - 또한, 접착력이 뛰어난 흑체를 용이하게 형성할 수 있어 수율을 크게 향상시킬 수 있으므로 전체적으로 써모파일 센서의 제조 단가를 낮추는 효과를 도출한다.