일반기술
질화갈륨 단결정 기판의 제조방법
기술의 개요 - 본 기술은 제조공정 시간이 짧으면서도 광소자 제조에 충분한 크기의 질화갈륨 단결정 기판의 제조방법을 제공하기 위한 것이며, 또한 결정결함 밀도가 작을 뿐만 아니라 재현성이 뛰어난 질화갈륨 단결정 기판의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.기술의 특징 - 본 기술은 산화물 기판을 마련하여 전처리하는 제 1 공정과, 전처리된 산화물 기판상에 질화갈륨을 성장시켜 제 1 질화 갈륨층을 형성시키는 제 2 공정, 기판과 제 1 질화갈륨층을 냉각시켜 기판과 제 1 질화갈륨층을 분리시키는 제 3 공정, 분리된 질화갈륨층 위에 질화갈륨을 또다시 고속으로 성장시켜 제 2 질화갈륨층을 형성시키고 이것에 의해 소정두께의 벌크단결정을 형성시키는 제 4 공정, 벌크단결정의 앞면과 뒷면을 연마하여 경면처리된 질화갈륨 단결정 기판을 만드는 제 5 공정으로 구성되어 있는 것이 특징이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-20
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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