일반기술

3주파수 헤테로다인 레이저 간섭계및 그를이용한 길이측정방법

본발명은 3개 주파수를 갖는 헤테로다인 레이저 간섭계및 그를 이용한 길이등의 물리량 측정방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 3주파수 헤테로다인 레이저 갑섭계는 3주파수 레이저 발진수단, 상기발진수단에서 발진된 레이저광속을 기준광속및 비교 광속으로 구분하여 2차 맥놀이 주파수의 계수값을 측정하기위한 광속분할기, 편광 광분할기, 제1 및 제2 코너큐브 프리즘, 제1 및 제2 편광판, 제1 및 제2 광검출기, 제1및 제2 증폭기, 제1 및 제2 대역통과필터, 2채널 계수기 및 길이 표시장치로 이루어진다.본 발명에 따르면 3개주파수 발진레이저에 의해 2차 맥놀이 주파수를 발생시키고 제2 코녀큐브 프리즘을 이동시키면서 2차 맥놀이 주파수를 도플러편이시켜 그 계수값과 기준광속의 계수값 차이에 의해 제2 코너큐브 프리즘의 이동거리를 계산하는 방식으로 분해능이 2개로 증가되는 길이 측정을 행할수 있는 혁신적인 효과가 있다.지만(Zeeman)안정화 레이저를 사용하는 종래의 2주파수 헤테로다인 간섭계보다 분해능을 2배로 향상할 수 있으며 레이저 출력이 크므로 다축레이저 간섭계 제작이 가능하다.