일반기술
플라즈마 질량분석기 및 그 제조방법
본 발명이 종래의 플라즈마 질량분석기와 다른점은 진공 체임버와 인터페이스를 차단하는 게이트 밸브 기능을 인터페이스에 구비하고 있으며, 인터페이스는 샘플러콘과 스키머콘 모두를 끼울수 있는 구조로 되어 있고, 이온 렌즈부와 사중극자부가 포함되어 있는 진공 체임버는 알루미늄 기둥을 깍아 만들고, 플라즈마부에 RF전류를 공급하는 로드 코일은 금도금한 구리 코일을 나선형의 홈이 파져 있는 막대에 홈을 따라 감음을 특징으로 하는 점이다.본 발명은 이온빔의 통과 효율을 높이며, 제작 및 조립이 용이하며 제작비가 싸고 보수 유지가 용이한 플라즈마 질량 분석기를 제작할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 산업·일반기계
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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