일반기술
Ｘ-선 마스크 및 그 제조 방법
- 개요 본 기술은 X-선 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것임.- 특징 기판 상부에 스트라이프 형태로 패터닝시켜 형성한 금속층인 도금 기저막을 형성하고, 이 도금 기저막 상부에 금으로 전기 도금을 시켜 제 1 X-선 흡수체와 제 2 X-선 흡수체를 순차적으로 형성하되, 제 2 X-선 흡수체는 양측면의 상부 일부가 각기 경사진 예컨대 사다리꼴 형상으로 형성하도록 함.- 효과 외부로부터 조사된 X-선을 흡수하는 X-선 흡수체가 사다리꼴 형상으로 형성되도록 X-선 마스크를 제조하여 가장 자리와 각이, 휘어지거나 처지지 않고, 날카로우면서도 선명한 V-GROOVE형상을 시편에 패터닝할 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 보건·의료 > 기타 보건·의료
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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