일반기술
반도체 가스 센서 및 그 제조 방법
- 개요 본 기술은 반도체 가스 센서 및 그 제조 방법에 관한 것임.- 특징 반도체 가스 센서에서 많은 열 손실을 발생시키는 기판과 히터 전극에서 발생된 열이 외부로 방출되는 것을 차단시키는 단열막 사이에 일정한 폭과 두께를 가지는 소정의 에어 갭을 형성함.- 효과 종래 보다 간단한 공정으로 쉽게 단열 구조의 반도체 가스 센서를 제조할 수 있도록 하여 소자의 공정 수율 및 재현성을 향상시키고, 가스 센서 칩을 더욱 더 소형화(SCALE DOWN) 및 집적화시킬 수 있음.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2008-02-21
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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