일반기술
주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기의 감도제어방법
본 발명은 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기(Scanner)의 감도제어 방법에 관한것으로 주사형 터널링 현미경용 3차원 주사기에 있어서 원통형 3차원 주사기의 Z축을 위한 전극을 바깥쪽에 형성시켜 내부전극을 접지시키거나 Z전압을 가하게 하여 열팽창보상에 이용하고 또 Z-전극의 길이를 변화시켜 각축의 감도를 조절하게 함을 특징으로 하는 주사형 터널링 현미경에 사용되는 3차원 주사기의 감도제어방법.외부전극을 5개로 하여 Z-축 전극을 별도로 만들었으므로 전자회로가 단순하여 회로 제작이 쉽고, PZT튜브의 내부전극은 -Z-축을 제어하므로서 온도보상을 편리하게 할 수 있고, 초기접근때 유용하게 사용할 수 있으며, 전체 길이에 대한 Z-전극의 길이를 변화하여 XY-및 Z-축 방향의 스캐너의 감도를 조정할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 산업용 전기전자
- 보유기관
- 한국표준과학연구원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2000-11-22
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.