일반기술

흡착식 오염방지판의 극저온 냉매소비를 절감시키는 설계

열진공챔버내부의 오염방지판에 공급되는 냉매의 소비량을 감소시키는 방법극저온냉매를 사용하는 중력방식의 Phase Separator형 Reservoir를 장착

기술정보

정보 없음