일반기술

유기 ＥＬ 디스플레이 소자의 양산용 장치

- 개요 본 기술은 유기 EL 디스플레이 소자 제작시 장시간 연속 증착이 가능한 증착 시스템을 제공하기 위한 것임.- 특징 진공상태에서 소정의 증착물질을 기판에 증착하는 증착 챔버와 소정의 증착 물질을 장입하는 1개 이상의 크루서블이 있는 소스부와 크루서블을 가열하여 장입된 증착 물질을 가열하는 히터와 크루서블에서 증착되는 물질의 양을 검사하는 도핑 센서를 포함하여 구성되며, 소스부가 증착챔버내로 교대로 로딩 및 언로딩되어 증착물질을 연속적으로 증착할 수 있도록 하는 두 개 이상의 소스 챔버 및 증착 챔버와 두 개 이상의 소스 챔버간에 통로 및 분리역할을 하는 하나 이상의 게이트 밸브를 포함하여 구성됨.- 효과 유기 EL 디스플레이 소자 제작시 장시간 연속 증착이 가능하여, 물질의 로딩 시간을 줄여 유기 EL 디스플레이 소자를 제작하는데 걸리는 시간을 줄일 수 있으며, 또한 크루서블의 용량을 작게 제작함으로써, 유기물 분해가 일어나지 않도록 하여 소자의 효율을 높일 수 있음.