일반기술

탑-이미션 방식의 유기 ＥＬ 소자의 제조방법

- 개요 본 기술은 탑-이미션 방식의 유기 EL 소자의 제조방법에 관한 것임.- 특징 유리 기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계와, 전면에 박막트랜지스터의 소오스/드레인 영역을 노출하는 콘택홀을 갖는 층간 절연막을 형성하는 단계와, 콘택홀에 전극 라인을 형성하는 단계와, 전면에 드레인 영역에 연결된 전극 라인을 노출하는 평탄화 절연막을 형성하는 단계와, 화소 부분에는 노출된 전극 라인에 연결되는 화소전극을 형성하고 화소 전극 이외의 부분에는 보조 공통전극을 형성하는 단계와, 화소전극과 보조 공통전극 사이에 절연막을 형성하는 단계와, 발광층 형성용 쉐도우 마스크를 이용하여 R, G, B 각각의 화소 영역에 공통 유기막층, 유기 발광층, 유기물층을 형성하는 단계와, 보조 공통전극에 연결되는 투명 공통전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐.- 효과 발광 영역이 오픈되어 있는 쉐도우 마스크를 이용하여 쉐도우 마스크의 변형 및 쳐짐 현상이 방지되므로 원하지 않는 영역에 유기물층이 증착되는 불량을 방지할 수 있는 효과가 있고, 특히 유기 EL 표시 패널의 대형화에 유리함.